黃光製程產能規劃系統及其規劃方法PHOTOLITHOGRAPHY CAPACITY PLANNING SYSTEM AND NON-TRANSITORY COMPUTER READABLE MEDIA THEREOF

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/058,534

專利證號

US 8,863,047 B1

專利獲證名稱

黃光製程產能規劃系統及其規劃方法PHOTOLITHOGRAPHY CAPACITY PLANNING SYSTEM AND NON-TRANSITORY COMPUTER READABLE MEDIA THEREOF

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2014/10/14

技術說明

本發明係揭露一種黃光製程產能規劃系統及其規劃方法。黃光製程產能規劃系統包含一成本計算模組、一產能計算模組、一需求計算模組、以及一資料處理模組。成本計算模組計算黃光製程的生產成本、缺單成本、及光罩成本，以提供成本資訊。產能計算模組計算此黃光製程的光源產能、共用機台產能、及專用機台產能，以提供產能資訊。需求計算模組根據產能資訊及使用者提供的預估需求量，計算此黃光製程的缺單數量，以提供缺單資訊。資料處理模組連接成本計算模組、產能計算模組、及需求計算模組，係根據成本資訊、產能資訊、缺單資訊、及使用者設定的規劃目標，提供使用者決策結果。黃光製程產能規劃方法包含透過成本計算模組計算黃光製程的生產成本、缺單成本、及光罩成本，並提供成本資訊。利用產能計算模組計算黃光製程的光源產能、共用機台產能、及專用機台產能，並提供產能資訊。藉由需求計算模組根據產能資訊及使用者提供的預估需求量，計算黃光製程的缺單數量，並提供缺單資訊。以資料處理模組根據成本資訊、產能資訊、缺單資訊、及使用者設定的規劃目標，提供使用者決策結果。 A planning method of a photolithography capacity planning system includes a step of calculating a production cost, a unfulfilled demand cost, and a mask cost of a photolithography manufacturing process, and producing a cost information by a cost calculation module, a step of calculating a capacity of light sources, a capacity of shared equipments, and a capacity of specified equipments of the photolithography manufacturing process, and producing a capacity information by a capacity calculation module, a step of calculating a quantity of unfulfilled demand of the photolithography manufacturing process, and producing a unfulfilled demand information according to the capacity information and a quantity of predicted demand from a user by a demand calculation module, and a step of producing a planning result according to the cost information, the capacity information, the unfulfilled demand information, and the user’s planning targets by a data processing module.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

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