發明
中華民國
098114921
I 401420
一種應用分光束檢測取放機構多軸誤差之裝置
國立虎尾科技大學
2013/07/11
一種應用分光束檢測取放機構多軸誤差之裝置,係由一含有一光源分光單元、一第一感測單元以及一第二感測單元所構成;光源分光單元隨著取放機構移動,第一感測單元以及第二感測單元分別固定於物件夾(吸)取端與物件放置端,當光源分光單元內的光源入射分光鏡後,其分光鏡再分光以供感測單元之感測器接收到光束,以提供感測器可以檢測出取放機構在夾(吸)取物件與放置物件時所產生的定位誤差與角度誤差;據此,將上述所量測到的處理訊號利用快速傅利葉轉換計算過後,就能得到取放機構之振動頻率。
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