具有同軸光束之三自由度光學量測探頭

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

096143610

專利證號

I 350368

專利獲證名稱

具有同軸光束之三自由度光學量測探頭

專利所屬機關 (申請機關)

南臺學校財團法人南臺科技大學

獲證日期

2011/10/11

技術說明

本研究主要目的是發展一低成本、高精度之三自由度光學量測探頭。以市售商用光碟機(DVD-ROM)內之光學讀取頭為光路基礎，將DVD探頭之聚焦物鏡做一2mm的穿孔，於搭配一分光鏡的設計後，使兩個DVD的光源形成兩同軸光束，將其中ㄧ光束經由聚焦物鏡未穿孔部分，聚焦於待測物表面，用以量測待測物表面的位移變化量，另一光束則穿透過聚焦物鏡穿孔部分，直接將光束投射至待測物表面，作為待測物表面之兩個角度的變化量量測。所研製而成的量測探頭，經實驗驗證後，Z軸具有28.8nm的位置標準差數值，量測範圍5μm，而X軸與Y軸分別具有1.79μrad與1.52μrad的角度標準差數值，量測範圍500μrad。

備註

本部(收文號1060027414)同意該校106年4月26日南科大產學字第1060005451號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展暨產學合作處

連絡電話

06-2531841

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