發明
中華民國
092109152
I 312370
低電遷移效應合金導線及其設計方法
國立清華大學
2009/07/21
本發明利用不同金屬材料具有正負不同有效電荷值之特性,將這些具 有正負不同有效電荷值之金屬材料製備成合金。此合金之有效電荷 值,為各組成金屬材料之莫耳分率、乘上各組成金屬材料有效電荷值 之總和。此計算所得之有效電荷值總和,可以做為選擇合金組成種類 與成份比例之依據。所製備之合金在電場作用下,合金中傾向與電子 流相同方向移動之原子、與傾向逆著電子流方向移動之原子互相牽 引,形成了在電場下無電遷移效應或低電遷移效應之合金。
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