微機械探針結構之製造方法及探針結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093106278

專利證號

I232848

專利獲證名稱

微機械探針結構之製造方法及探針結構

專利所屬機關 (申請機關)

逢甲大學

獲證日期

2005/05/21

技術說明

一種微機械探針結構之製造方法及探針結構，透過為結構的出平面設計 可以增加探針受力過程的位移行程，及透過為製成的方式可以製作小兼 具之微探針卡

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

(04)24517250-6811

網址