光學感測之接觸式量測探頭

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097105231

專利證號

I 359258

專利獲證名稱

光學感測之接觸式量測探頭

專利所屬機關 (申請機關)

南臺學校財團法人南臺科技大學

獲證日期

2012/03/01

技術說明

本研究開發出一低成本之奈米級接觸式探頭，探頭結構是由一鑽石探針與懸吊結構組合而成，並以商用DVD讀取頭研製改良而成之光學式位移感測器作為懸吊結構的位移量量測。懸吊結構的設計是藉由兩顆萬向滾珠與一活動滾柱，三點接觸於固定探針的圓柱導桿上，於搭配平行導引機構的夾持下，可限制住探針於量測待測物表面時，只有垂直方向的位移運動。經實驗證明，探頭的量測範圍為 5.4 μm，線性位移量測誤差為53.1nm，線性誤差為0.9%。將奈米級接觸式探頭整合於壓電陶瓷馬達上，並使用Borland C++ Builder自行撰寫量測控制軟體，完成一三維表面形貌量測儀，經實驗證實此量測儀能準確地應用於具有大曲率表面工件的量測。

備註

本部(收文號1070082598)同意該校107年11月28日南科大研產字第1070015636號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展暨產學合作處

連絡電話

06-2531841

網址