一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法THIN FILM FABRICATION OF RUBBER MATERIAL WITH PIEZOELECTRIC CHARACTERISTICS

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/787,722

專利證號

US 9,048,427 B2

專利獲證名稱

一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法THIN FILM FABRICATION OF RUBBER MATERIAL WITH PIEZOELECTRIC CHARACTERISTICS

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/06/02

技術說明

本發明所提供之一種具壓電特性的橡膠材料薄膜結構與製造方法。本發明係利用高分子鑄造、多層堆疊、表面改質、以及微電漿製程所開發出來。為了實現所需的機電感應靈敏度，設計並製造了內含微米孔洞的二甲基矽氧烷結構，並佈植雙極性電荷於孔洞內部的上下表面，植入的成對電荷具有電偶極的特性，可產生多樣的機電感應關係。薄膜的壓電特性可透過內部多孔結構幾何參數的改變而加以調整，具有極高的潛力可製成高機電感應靈敏度的軟性材料，充分滿足各種感測器、致動器、生物體監控以及能量轉換等相關應用的需求。 The present invention is related to a thin film fabrication of a rubber material with piezoelectric characteristics and a manufacturing method thereof. The present invention is developed by utilizing multilayer casting, stacking, surface coating, and micro plasma discharge processes. To realize the desired electromechanical sensitivity, cellular PDMS structures with micrometer-sized voids are implanted with bipolar charges on the opposite inner surfaces. The implanted charge pairs function as dipoles, which respond promptly to diverse electromechanical simulation.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址