光學干涉液面污染偵測方法及系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

09/982,467

專利證號

6,665,074B2

專利獲證名稱

光學干涉液面污染偵測方法及系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2003/12/16

技術說明

光學干涉液面污染偵測方法及系統

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址