磁性合金的序化方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102121345

專利證號

I 474348

專利獲證名稱

磁性合金的序化方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/02/21

技術說明

一種磁性合金的序化方法包含：(a)提供熱吸收底層；(b)在熱吸收底層上形成熱阻障底層；(c)在熱阻障底層上形成含非序化合金的磁性層，非序化合金具第一、二金屬，第一金屬是Fe、Co或Ni，第二金屬是Pt或Pd；及(d)直接對熱吸收底層施予快速熱退火使熱吸收底層迅速吸收熱能並產生一增加的體積膨脹量，從而令磁性層因增加的體積膨脹量而具一平面拉伸應力，以使非序化合金藉該平面拉伸應力轉變成一序化相。非序化合金具有熔點Tm。步驟(d)的升溫速率足以使序化相體積比率於一退火溫度Ta下在一預定時間達到0.70以上，且Ta≦0.45Tm。 (a) providing a thermal absorption underlayer; (b) forming a thermal barrier underlayer on an upper surface of the thermal absorption underlayer; (c) forming a magnetic layer containing a disordered (d) subjecting rapid thermal annealing (RTA) to the thermal absorption underlayer directly such that the thermal absorption layer simultaneously absorbs the thermal energy rapidly and produces an increased amount of volume expansion so as to make the magnetic layer has an in-plane tensile stress by the increased amount of volume expansion and make the disordered alloy contained in the magnetic layer transfer to an ordered phase by the in-plane tensile stress. The disordered alloy has a melting point of Tm, and the RTA step has a heating rate that is sufficient to make the volume ratio of the ordered phase of the disorder alloy be higher than 0.70 at an annealing temperature of Ta under a predetermined time, wherein Ta≦0.45Tm.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址