發明
中華民國
095124703
I 319447
摻雜有金屬元素之半導體奈米材料及其製造方法
國立成功大學
2010/01/11
ZnO奈米材料因為具有很特殊的光電性質,於奈米光電領域的應用引起廣泛的研究興趣。為了改善ZnO的電子傳導性質與光學特 性,常摻混Al元素,這方面的研究在ZnO透明導電膜已經有明顯的成效與成熟的技術。然而在奈米材料的合成上,由於Al的蒸氣 壓極低不易與ZnO共同蒸鍍且Al容易氧化的問題,摻混Al的ZnO奈米材料製作始終是一個挑戰。
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