整合積體電路的FET微壓力感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097102080

專利證號

I 344425

專利獲證名稱

整合積體電路的FET微壓力感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2011/07/01

技術說明

本發明在於提供一種整合積體電路的FET微壓力感測器，主要以CMOS製程製成一晶片體並成型於一矽基板上，其包含有一壓力感測結構及一感測電路係整合在一塊晶片體上，該壓力感測結構，係於該晶片體表面形成一壓力感測區，該壓力感測區中佈設陣列有預定數目之壓力單元，並與該感測電路間具有電性連接，藉以將該壓力感測結構之電流訊號經放大後轉換為電壓訊號輸出，藉以達到整體體積小，且利用電壓控制電阻的優點，藉以調節閘極電壓改變通道電阻，使得感測器通道電阻具有可調性，以控制壓力感測器之靈敏度者。

備註

本部(收文號1060063873)同意該校106年8月10日興產字1064300420號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址