用於一光學輔助原子力顯微鏡系統的掃描樣本的方法及其裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102142894

專利證號

I 519791

專利獲證名稱

用於一光學輔助原子力顯微鏡系統的掃描樣本的方法及其裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2016/02/01

技術說明

一種原子力顯微鏡掃描一待測樣本的方法，該方法包含下列步驟：以一第一弦波掃描軌跡橫跨該待測樣本之一第一掃描區域。自該第一弦波軌跡掃描該第一區域之一實際路徑與該樣本之關係，而獲得一第一區域參數。以該第一區域參數預測掃描該樣本之一第二區域之一第二弦波軌跡。以該第二弦波軌跡掃描該第二區域。其中該待測樣本包含N個區域，該裝置包含一探測器、一控制器、以及一處理單元。該控制器控制該探測器以N個弦波軌跡分別掃描該N個區域，並獲得分別對應該N個區域中一第一區域以後之N-1個區域參數。該處理單元電連接於該控制器，並分別根據該N-1個區域參數而決定N-1個弦波軌跡以分別掃描該樣本的含一第二區域以後之該N-1個區域。 A method of scanning a sample comprises steps of: scanning a first region of the sample by a first sinusoid trajectory. Scanning relationship between a practical path of the first region and the sample to obtain a first region parameter. Predicting a second sinusoid trajectory of a second region of the sample by the first region parameter. Scanning the second region by the second sinusoid trajectory.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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