發明
中華民國
098111734
I 398877
直度誤差量測裝置
國立虎尾科技大學
2013/06/11
本發明之“一種線上即時量測運動平台直度誤差之量測方法與裝置”,是一種創新的量測方式,其可以提供運動軸水平方向線上即時誤差量測訊號,在過去只有單獨使用光學尺來量測平台的行程位移量而非直度誤差而且直度誤差目前並無直接線上即時量測補償的方法,傳統的直度量測方式是利用光學干涉的直度校正方法或是直度規的方式進行校正,多為離線校正的方式,現在將光學尺裡的主要元件光柵與本方法結合後,不但可以量得平台行程的位移量,更能即時量測出平台在行程中的直度誤差,此為過去所沒有的技術。
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