新型
中華民國
106214056
M 554670
立體式振膜微機電麥克風
國立宜蘭大學
2018/01/21
一種立體式振膜微機電麥克風,係包含一聲音感測模組,以及電性連接該聲音感測模組及處理輸出自該聲音感測模組的一處理電路,其特徵在於: 該聲音感測模組包含一基板;一背板配置在該基板上,複數穿孔貫穿地形成在該背板;一振膜配置在該在該背板與該基板間;以及至少一應力元件結合該振膜;該振膜受該應力元件的作用而形成中間部份凸向該背板。
本會(收文號1120067103)同意該校112年10月12日宜大研字第1121004649號函申請終止維護專利(國立宜蘭大學)
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