共平面平台機構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101140502

專利證號

I 476065

專利獲證名稱

共平面平台機構

專利所屬機關 (申請機關)

南臺學校財團法人南臺科技大學

獲證日期

2015/03/11

技術說明

本作品為一具有微調功能之共平面平台，整體大小為395 mm*395 mm*53 mm，XY軸之行程皆可達到80mm。此平台採用線性馬達作為驅動源，以光學尺作迴授控制，並利用奈米壓電平台進行短行程之微調；工作平台之驅動是利用連桿的一端連接線性馬達之動子，另一端則使用兩空氣軸承置於一凹槽中來推動平台；平台之底部則採用四顆空氣軸承來降低平台與底板間的摩擦，並提高平台整體之精度。由於此平台具有同軸且共點之設計，能有效地降低阿貝誤差(Abbe Error)，搭配線性馬達的長行程與奈米平台的短行程定位，使得此共平面平台的設計在定位精度上具有一定的水準。 The platform is driven by a linear motor and adopts an optical encoder for a feedback control. For each axis, the linear motor is connected to a working stage by a connecting rod. The connection of the rod and the stage employs two guiding wheels, on the upper and lower sides respectively, sliding into a groove on the stage skirt in line contact to guide the stage. On the bottom side of the stage, four air bearings are used to assist the stage movement and fine-tune the stage height. For the working stage, a linear motor is used for long-stroke positioning and a piezoelectric actuator is then employed to fine-tune the positioning to achieve a requirement of high-precision.

備註

本部(收文號1090067917)同意該校109年11月6日南科大研產字第1090012450號函申請終止維護專利(南科大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展暨產學合作處

連絡電話

06-2531841

網址