多元化合物奈米結構之製作方法與裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094100194

專利證號

I 274787

專利獲證名稱

多元化合物奈米結構之製作方法與裝置

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2007/03/01

技術說明

本發明提供了一種多元化合物奈米結構之製作方法，以及用以形成多元化合物奈米結構之裝置。該方法包含了提供一基板於一反應室中；提供複數離子束；提供一高壓電場，用以引出並加速該等離子束；提供一氣體原子源，以使該反應室中充滿該氣體原子；以及提供一聚焦透鏡組，以聚焦該等離子束等步驟；其中利用所提供之該高壓電場引出並加速該等離子束，該等離子束經該聚焦透鏡聚焦後，與該氣體原子共同照射於該基板上，進而共同沉積以形成該多元化合物奈米結構。本發明之方法與裝置不須搭配額外的加工程序，且能夠以一個容易控制的程序來精確的形成所需要的奈米結構 a nano structure manufacting mothod

備註

本部(收文號1050070266)同意該院105年8月23日國研業字第1050102309號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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