發明
中華民國
095110711
I 311984
同時摻雜有氮與氟之氧化鈦顆粒的製造方法
國立中山大學
2009/07/11
本發明『同時摻雜有氮與氟之氧化鈦顆粒的製造方法』流程如圖一所示,是由三 氟氧鈦銨熱回火處理獲得。其中三氟氧鈦銨顆粒可利用液相沉積法於低溫下製備於玻璃基板 (SiO2)上,三氟氧鈦銨顆粒之製備是透過六氟鈦銨((NH4)2TiF6)與硼酸(H3BO3)的適當比例 於 玻璃基板上獲得。由於六氟鈦銨與硼酸溶液混和後會產生氫氟酸(HF),選擇使用玻璃基板可 以 消耗氫氟酸以增加三氟氧鈦銨成核反應速率,且將三氟氧鈦銨顆粒固定生長於玻璃基板上, 以 方便接著使用不同溫度回火,達到不同程度氮與氟之分解重組,以獲得不同氮與氟摻雜量之 奈 米氧化鈦顆粒。高濃度氮與氟之奈米氧化鈦顆粒直接藉由回火三氟氧鈦銨獲得。氮與氟在氧 化 鈦顆粒之摻雜量即使回火在300 OC至900 OC間,氮摻雜量依然可以維持在1 %,氟摻雜量則 維 持在0.4 % 以上。 n/a
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