長度量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100142230

專利證號

I 437208

專利獲證名稱

長度量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2014/05/11

技術說明

由於測長干涉儀部是以波長為單位，無法測量超過半波長的相位變化，因此必需採用增量計數的方式累進位移的變化量，但有導軌及連續測量的限制條件，在測量不連續變化的待測物時，由於沒有絕對的零點，因此無法測量超過半波長以上的變化量。 而一般的干涉儀的穩定性差，且信號呈正弦形態變化，位置的不確定性高，而傳統的訊號處理方法大都奠基在弦波的時變信號上，因此如何消除直流直準位，確保信號的正交性及如何維持振幅的恒定成為影響精度的三大難題，這也是過去幾十年反覆研究的課題。本文採用條紋空間位置的變化來量測干涉相位。因此選用高細銳度的Fabry-Perot干涉條紋及線陣列CCD進行干涉測長的研究，希望能解決穩定性差、導軌及信號處理複雜的問題。 本文對Fabry-Perot干涉儀測長的課題進行研究，提出採雙波長合成的的方案進行研究，為了解決干涉信號不連續的問題，本計畫採用線陣列CCD及多波長的方式解決問題，可量測待測物的絕對距離。 This paper describes a dual-wavelength, common-path Fabry-Perot interferometer allowing absolute distance measurements using a set of semiconductor laser diode. The method relies on the so-called fractional fringe technique and multi-wavelength-synthesized technique with a linear array detector. It does reveal the precision of the system work well and verify the validity of this research.

備註

本部(收文號1060025200)同意該校106年4月14日虎科大智財字第10634000590號函申請終止維護專利

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