發明
中華民國
0093107296
I239662
製作高功率發光二極體的方法及其製品
國立中興大學
2005/09/11
一種製作高功率發光二極體的方法,包含下列步驟:(A)提供一具有一磊晶體的藍寶石基板,及一具有一由可被一雷射 光分解的材料所製成的中間膜的第一基板,第一基板是由可被雷射光穿透的材質所製成;(B)利用一貼合模黏合磊晶體 及中間膜;©將藍寶石基板研磨達一小於50μm的預訂厚度;(D)利用雷射光照射第一基板裂解中間膜的材料,以分離第一 基板及藍寶石基板;(E)以一蝕刻移除貼合膜。該方法可製作出一高功率發光二極體,包含:一具有一磊晶面及一相反 磊晶面的背光而且一預度厚度小於50μm的藍寶石基板及一形成在藍寶石基板之磊晶面的磊晶體。
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