混合式六自由度奈米級精密定位平台系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099116825

專利證號

I 425334

專利獲證名稱

混合式六自由度奈米級精密定位平台系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2014/02/01

技術說明

本發明是關於一種混合式六自由度奈米級精密定位平台系統，設有一平台組、一量測回授組及一控制組，該平台組設有一底座、一雙軸滑軌平台及一微動壓電平台，該雙軸滑軌平台可移動地設於該底座，該微動壓電平台設於該雙軸滑軌平台上，該量測回授組與該平台組相結合且設有兩單光束雷射干涉儀、一雙光束雷射干涉儀及一反射裝置，該控制組與該平台組及該量測回授組相電性連接且設有一電腦及一控制器，該控制器是與該電腦、雙軸滑軌平台及微動壓電平台相電性連接，提供一方便組裝、成本低且具高精度長行程定位效果之混合式六自由度奈米級精密定位平台系統者。 This paper concentrates on the design, analysis, manufacturing process and assembly of a six-axes nanomeasuring machine stage and combines a six degrees-of-freedom error measuring system for feedback control on nanomeasuring machine stage. This stage includes two parts: 1) a four-axes PZT stage utilizing piezoelectric actuator；2) A ball guided X-Y stage utilizing two voice coil motor.

備註

本部(收文號1060000110)同意該校105年12月30日虎科大智財字第10534002490號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

(05)6315933

網址