射頻反射式掃描穿隧顯微鏡

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103124553

專利證號

I 504900

專利獲證名稱

射頻反射式掃描穿隧顯微鏡

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2015/10/21

技術說明

本發明為一利用的射頻共振迴路, 利用射頻反射率代替傳統電流電壓轉換方法, 得到在穿隧能障變化時的微小反應. 再利用反射射頻共振信號的補償, 經由一項可精密調整振幅與相位的向量補償方法, 可以很靈敏的偵測至原子級的解析能力(單原子)及極高的頻寬(500 MHz). 此方法亦可偵測奈米級的電性測量, 得到電抗之實部與虛部. 另外利用屏蔽共振線路以抵抗激發電流源之干擾, 可以操作RFSTM於有外來電流源如電子束或光電流源(如X-光吸收)或電化學環境下, 而不需有特別之探針處理. 以上述特性為傳統掃描探針顯微鏡之所無, 故有極強之技術新穎性. This invention（RFSTM) uses the reflection of a resonant high-frequency tank circuit to replace the conventional current-voltage converter detection method in traditional STM. To detect change of tunneling, the reflection signal is nulled by a vector compensation circuit with amplitude and phase adjustment. This allows the detection of single atoms and a very high detection bandwidth >500 MHz. RFSTM is also phase sensitive and detects nanoscale surface impedance. By using a shielded tank circuit, the RFSTM, unlike conventional STM, is also insensitive to external electron flux sources such as electron beam or photoelectron source (X-ray absorption) or electrochemistry cell. RFSTM can operate in these environments without special tip treatment. The above characters give RFSTM a very unique technological advantage.

備註

本部(收文號1110015008)同意該校111年3月16日校研發字第1110018536號函申請終止維護專利(國立臺灣大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

網址