微奈米線材之製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094133846

專利證號

I289539

專利獲證名稱

微奈米線材之製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

遠東科技大學

獲證日期

2007/11/11

技術說明

本發明係一種微奈米線材之製造方法，包括下列步驟：A.利用微影製程於基材上製作凹槽；B.於凹槽中塗佈熱硬化材料；C.加溫使凹槽中之熱硬化材料沿凹槽之槽壁形成硬化層；D.去除未硬化之熱硬化材料；E.將線材之材料沉積於具有硬化層之凹槽中；F.去除非線材之材料；G.完成。本發明係一種微奈米線材之製造方法，係利用微影製程於基材上製作凹槽，復加溫使預塗於於凹槽中之熱硬化材料生成硬化層，再將線材之材料沉積於具有硬化層之凹槽中，最後去除非線材之材料而獲得微奈米線材。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

創造力中心

連絡電話

06-5979566-7912

網址