應用短時離散小波轉換之晶圓檢測設備及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099102235

專利證號

I 560438

專利獲證名稱

應用短時離散小波轉換之晶圓檢測設備及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立彰化師範大學

獲證日期

2016/12/01

技術說明

本發明係有關一種應用短時離散小波轉換之晶圓檢測設備及方法，其包括一跨設手段、一光學掃瞄裝置、一感光元件及一離散小波轉換手段，跨設手段可跨設在生產線的二側緣上，光學掃瞄裝置設在跨設手段之第一供設部上，用以對生產線上之晶圓發出掃瞄光線，感光元件設在跨設手段之第二供設部上，用以接收由晶圓表面反射的掃瞄光線，並轉換為至少一串的電壓訊號，並以離散小波轉換手段將該串電壓訊號訊號區分成複數個同長度的區段，並對該串電壓訊號之每一區段做離散小波轉換，而可於每一區段取得一低頻係數與一高頻係數，並對每一低頻係數與高頻係數做區段能量的計算分析，當其中至少一區段能量驟降時，則可判斷出該晶圓之裂痕或斷裂所在的區段資訊者。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展處

連絡電話

04-7232105轉1858

網址