二硫化鉬奈米片感測器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

104144708

專利證號

I 606009

專利獲證名稱

二硫化鉬奈米片感測器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2017/11/21

技術說明

本發明一實施方式是在提供一種二硫化鉬奈米片感測器，其包含一可撓性基板、一圖案化電路層及至少一二硫化鉬奈米片。本發明是在提供一種二硫化鉬奈米片感測器、感測吹管及其製造方法，其利用介電泳方法於室溫下來製作二硫化鉬奈米片感測器，且具有高靈敏度及高訊噪比之優點。製作上具有製程簡單以及常溫製作的優點，不僅可在常溫下進行製作，且可整合其他奈米製程，解決習知技術中感測及分析氣體系統成本高昂、系統複雜且攜帶不便的缺點。 The present invention provides a molybdenum disulfide sensor, breath sensing tube and fabrication method thereof, using dielectrophoretically-assembled method for producing the molybdenum disulfide nanosensor at room temperature, which is not only easy to make and more convenient to integrate with other nanofabrication process, but also has the advantage of high sensitivity and high signal-to-noise ratio.

備註

本會(收文號1120009636)同意該校112年2月16日清智財字第1129001196號函申請終止維護專利(國立清華大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

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