發明
中華民國
104131403
I 620920
多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統
中原大學
2018/04/11
一種多軸向壓電應力感測元件、壓電感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統。此多軸向壓電應力感測元件以及壓電感應偵測系統係用於工具機之切削力量測。多軸向壓電應力感測元件包括壓電感測薄膜、第一電極、第二電極、第三電極及第四電極。壓電感測薄膜具有四個邊角。第一電極、第二電極、第三電極及第四電極係位於壓電感測薄膜之四個邊角,且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。可應於需要高精度、高響應等力量量測的時候使用。 A multi-axis piezoelectric stress sensing device, a multi-axis piezoelectric stress sensing device polarization method, and a piezoelectric sensing detection system.thereof are disclosed. The piezoelectric sensing detection system is used for a machine tool. The multi-axis piezoelectric stress sensing device includes a piezoelectric sensing film, a first electrode, a second electrode, a third electrode,and the fourth electrode. The piezoelectric sensing film has four corners. The first electrode, the second electrode, the third electrode and the fourth electrode system located in the four corners of the piezoelectric sensing film, and wherein at least one electrode is polarized to other electrodes according to at least one polarization direction.
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