發明
中華民國
100118574
I 438932
準直性發光元件與其製造方法
國立清華大學
2014/05/21
將微光學元件以微影製程技術製作在發光二極體上,以提高發光二極體之出光準直性. 該等微光學元件包括Fresnel lens,微透鏡,微透鏡陣列等等。 微影製程包括半導體製程的微影,蝕刻,封裝等等製程。 該等發光二極體包括各種發光二極體,特別是GaN和GaAs等III─V系列。 將微光學元件以微影製程技術製作在發光二極體上,以提高發光二極體之出光準直性. 該等微光學元件包括Fresnel lens,微透鏡,微透鏡陣列等等。 微影製程包括半導體製程的微影,蝕刻,封裝等等製程。 該等發光二極體包括各種發光二極體,特別是GaN和GaAs等III─V系列。 Using semiconductor micro lithography technique to fabricate micro optical elements on light emitting diodes for the purpose of collimating, focusing, concentrating the output of the LED. The micro optical elements including Fresnel lens, micro lens, mocro lens array etc.. The micro lithography fabrication process including lithographic process and etching process, etc. The light emitting diode including various semiconducting diode, including GaN, GaAs...IIIV compounds. Using semiconductor micro lithography technique to fabricate micro optical elements on light emitting diodes for the purpose of collimating, focusing, concentrating the output of the LED. The micro optical elements including Fresnel lens, micro lens, mocro lens array etc.. The micro lithography fabrication process including lithographic process and etching process, etc. The light emitting diode including various semiconducting diode, including GaN, GaAs...IIIV compounds.
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