晶圓圖之分析系統及其分析方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102129596

專利證號

I 483216

專利獲證名稱

晶圓圖之分析系統及其分析方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/05/01

技術說明

本發明係揭露一種晶圓圖之分析系統及其分析方法。該晶圓圖之分析系統包含一晶圓圖輸入模組、一晶圓圖資料庫、一進退化模組、一標準化模組、一座標轉換模組、一缺陷密度顯示模組、一隨機性檢定模組、一相似度比對模組、以及一模型評估模組。該晶圓圖輸入模組係提供一晶圓圖。該晶圓圖資料庫係儲存複數個歷史晶圓圖。該進退化模組係對該晶圓圖之各晶片位置進行一進退化處理，以簡化該晶圓圖。該標準化模組係對該晶圓圖建立一公版晶圓圖。該座標轉換模組係對該公版晶圓圖進行座標轉換，並產生複數個比對公版晶圓圖。該缺陷密度顯示模組係對該複數個比對公版晶圓圖進行缺陷密度計算，以顯示該複數個比對公版晶圓圖之缺陷密度分布情形，並獲得複數個特徵公版晶圓圖。該隨機性檢定模組係對該複數個歷史晶圓圖進行隨機性檢定，並去除隨機性樣型之該複數個歷史晶圓圖以減少該複數個歷史晶圓圖之一比對數量。該相似度比對模組係對該複數個特徵公版晶圓圖與該複數個歷史晶圓圖所對應之複數個特徵公版晶圓圖進行相似度比對。該模型評估模組係評估該公版晶圓圖可能對應之該複數個歷史晶圓圖，並產生一分析結果將該複數個歷史晶圓圖依相似度、敏感度、及準確度依序排列。 The present invention relates to an analytic system of wafer bin map and an analytic method thereof. The analytic system of wafer bin map includes a wafer bin map input module, a wafer bin map database, a degeneration module, a standardization module, a coordinate transformation module, a defect density characterization module, a test of randomness module, a similarity comparison module, and a pattern evaluation module. The wafer bin map input module provides a wafer bin map. The wafer bin map database stores a plurality of historical wafer bin maps. The degeneration module degenerates the wafer bin map to simplify the wafer bin map.

備註

本部(收文號1110008609)同意該校111年2月15日清智財字第1119000986號函申請終止維護專利(國立清華大學)

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