發明
中華民國
100103253
I 452255
光學編碼器及其光學裝置與量測方法
中原大學
2014/09/11
本發明揭露一種光學編碼器,包含:一移動裝置,具有複數個光柵用以將一光線細小化成複數個第一光線,其中此移動裝置可改變此些第一光線從相對應的第一位置到相對應的第二位置以產生複數個第一位移;一光學裝置,讓此些第一光線直接透射以放大成複數個第二光線,並放大此些第一位移成複數個第二位移;以及一光感測器,接收此複數個第二光線並轉換成相對應的電子訊號,藉此量測此些第二位移以判別此些第一位移,其中此些第一位移包含1奈米等級的位移。 An optical encoder is disclosed herein. The optical encoder has a moving part with a plurality of gratings, an optical part, and a photodetector. The plurality of gratings is used to slit a light into a plurality of first lights, wherein the moving part can adjust the plurality of first lights from the first relative positions to the second relative to generate a plurality of first displacements. The plurality of first lights pass through the optical part and are magnified to a plurality of second lights, and the plurality of first displacements are magnified to a plurality of second displacements. The photodetector receives the plurality of second light and then transfer them into the corresponding electronic signals to determine the plurality of first displacements by measuring the plurality of second displacements, wherein the plurality of first displacements include one nanometer displacement.
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