無縫式壓印滾輪模仁製作方法與設備

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098129680

專利證號

I 402174

專利獲證名稱

無縫式壓印滾輪模仁製作方法與設備

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2013/07/21

技術說明

本發明係有關於一種無縫式壓印滾輪模仁製作方法與設備，其係將具有一定真圓度與真直度之圓形工作件塗佈上光阻後，夾持於轉動載台上，搭配紫外線曝光系統將光罩上之任意圖形，以曝光的方式複製於圓形工作件表面的光阻上，經顯影後，裸露出受曝光的部份底部金屬，蝕刻或電鑄後，得到無接縫壓印滾輪；另外，轉動載台可將任意複雜圖形，準確的接壤並曝光於光阻上，達到無接縫且多樣化圖形的優點；續，此方法中所使用的紫外光，經由光學鏡組設計折射後，產生出的光線具有高準直度，因此，圖形線寬可輕易的壓低到5微米，大幅提升應用功效。 This invention presents a new way for fabricating a seamless roller mold based on conventional photolithography approaches. First of all, we develop a novel method for spread-coating a thin photo-resist (PR) layer on the cylindrical surface of a steel roller. We have successfully achieved a uniformly coated PR layer with a thickness from 1 to 40 um. Secondly, a rotary type UV-exposure system is constructed for step-and-repeatedly transforming a pattern defined by a photo-mask and a slot-window to the PR layer coated on the roller surface. Using standard photolithographic approaches the PR is patterned and developed. Finally, using the patterned PR as an etching mask and chemical etching process, a variety of microstructures with complicated and seamless patterns can be directly fabricated on the steel roller surface.

備註

本部(收文號1060000114)同意該校105年12月30日成大研總字第1054501055號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址