結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工的預測方法PREDICTION METHOD OF NEAR FIELD PHOTOLITHOGRAPHY LINE FABRICATION USING BY THE COMBINATION OF TAGUCHI METHOD AND NEURAL NETWORK

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/760,795

專利證號

US 7,747,419 B2

專利獲證名稱

結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工的預測方法PREDICTION METHOD OF NEAR FIELD PHOTOLITHOGRAPHY LINE FABRICATION USING BY THE COMBINATION OF TAGUCHI METHOD AND NEURAL NETWORK

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣科技大學

獲證日期

2010/06/29

技術說明

結合田口法及類神經網路建構近場光學微影線段加工的預測方法

備註

本部(收文號1100059448)同意該校110年9月28日臺科大研字第1100107053號函申請終止維護專利(臺科大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉中心

連絡電話

02-2733-3141#7346

網址