運用Fabry-Perot標準具之簡易及高精密角度檢測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097122198

專利證號

I 366659

專利獲證名稱

運用Fabry-Perot標準具之簡易及高精密角度檢測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2012/06/21

技術說明

一種運用Fabry-Perot標準具之簡易及高精度角度檢測方法，包含有(a)光機裝置：提供一檢測裝置，其設有一Fabry-Perot標準具及一光檢測器，該光檢測器係用以接收經Fabry-Perot標準具透射後之干涉條紋；(b)射入光源：準備一入射Fabry-Perot標準具之光源組；(c)平行校正：待雷射光經Fabry-Perot標準具而產生干涉條紋時，透過調整光源組之入射角度，同時由光檢測器紀錄各入射角的干涉條紋訊號，並透過干涉條紋細銳度的計算後，可得到各入射角之細銳度值，其中當干涉條紋細銳度為最大值時，即可確認雷射光係垂直射入Fabry-Perot標準具中，藉以提供一可大幅提高檢測準確度之檢測方法者。 By Fabry-Perot etalon, a convenient method for angle measurement with high precision has been developed. The system includes (a) optomechanical equipment : the measurement system contains Fabry-Perot etalon and photodetector which senses interference fringes. (b) light source : the light source system supplies incident light beam for Fabry-Perot etalon. (c) parallelism alignment : by adjustment of the incident angles in light source, detection of fringes and analysis of fringes, the relationship between incident angle and finesse can be acquired. With the maximum finesse, incident light beam will be normal incidence to Fabry-Perot etalon. By this angle measurement method, convenience and high precision can be achieved.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

網址