氣體感測器結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

0097118181

專利證號

I 391656

專利獲證名稱

氣體感測器結構

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2013/04/01

技術說明

本發明為有關一種氣體感測器結構，所述之氣體感測器為具有感測晶片，該之感測晶片製程時，主要以標準化積體電路製程方式，於基底上設置感測區與電路區，且感測區內設有可感測揮發性氣體之感測材料，最後以標準化積體電路封裝方式，在感測晶片外設置封裝殼體，藉此，利用標準積體電路製程，將氣體感測器結構及電路整合在單一晶片上，達到可在室溫下量測揮發性有機物氣體，以及兼具一體成形、降低產製成本、和快速量產之實用進步性。

備註

本部(收文號1070026132)同意該校107年4月18日興產字第1074300247號函申請終止維護專利

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