發明
中華民國
089114504
146452
測量以非晶形矽氫為感測膜之ISFET之溫度參數的方法及其裝置
國立雲林科技大學
2001/11/21
本發明揭露了一種測量以非晶形矽氫為感測膜之ISFET之 溫度參數的方法及其裝置,其利用電流/電壓量測裝置量 測出非晶形矽氫離子感測場效電晶體之源/汲極電流對閘 極電壓之曲線,再由曲線中進一步估算出元件之感測度 與溫度之關係以及溫度係數與pH值之關係,藉以反推出 未知濃度溶液中之離子濃度或pH值。
智財管理組
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