桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103127317

專利證號

I 506666

專利獲證名稱

桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/11/01

技術說明

近年來由於對於電鏡解析能力的要求見提升，而目前市面上現有之桌上型電鏡受限於透鏡總長度等因素限制，解析能力約落在10~20奈米左右。本專利發明「桌上型電子顯微鏡及其複合多極-聚焦可調式磁透鏡」利用多極極靴的設計，透過多重極靴的磁路安排可以在一個透鏡之中產生多極磁場之分布。目前像差修正器主要是利用多極磁場來達到像差修正的功效，而本發明所產生的多極磁場可以在相對小的體積內達成相同的目的。並且可以在產生多極磁場的同時產生部分軸對秤的磁場來聚焦電子束。 A combined round-multiple magnetic lens comprises a coil bracket, a first pole piece and a second pole piece. At least a first pole shoe of the first pole piece on the coil bracket and at least a second pole shoe of the second pole piece under the coil bracket respectively extend towards the central axis. The first pole shoe and the second pole shoe are symmetry according to the central axis, or the first pole shoes and the second pole shoes are respectively symmetrical arranged, the angle difference between the first pole shoe and the adjacent second pole shoes is 360/2N degrees. A magnetic circuit gap between the first pole shoe, for generating magnetic field distribution of multi-poles and reducing the volume and the number of power supplies.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址