表面電漿共振量測裝置及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095119115

專利證號

I 297767

專利獲證名稱

表面電漿共振量測裝置及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2008/06/11

技術說明

我們提出了一種應用「表面電漿共振」技術來測量奈米級間隙寬度或位移的方法，利用這個技 術方法，同時發展出一組量測奈米間隙或位移的光學設備。我們提出的方法可以即時、直接地 測量小於二分之一可見光波長的微小間隙與位移變化，亦可輕易達到比100 nm更小的範圍。

備註

本部(收文號1060012320)同意該校106年2月20日清智財字第1069001047號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址