具有優選排列方向之金膜、其製備方法、及包含其之接合結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103125237

專利證號

I 507548

專利獲證名稱

具有優選排列方向之金膜、其製備方法、及包含其之接合結構

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2015/11/11

技術說明

本發明係有關於一種具有優選排列方向之奈米雙晶金膜、其製備方法、及包含其之接合結構。該金膜具有一厚度方向，且於該厚度方向沿著[220]晶軸方向堆疊；其中，該金膜係至少50％以上之體積係由複數個奈米雙晶金所構成，該些奈米雙晶金係彼此相鄰且沿著垂直該厚度之方向排列，並沿著[111]晶軸方向堆疊而成。本發明所提供之具有優選排列方向之奈米雙晶金膜之接合結構係綜合以上兩種特點，使得表面具有[220]結晶平面以及包括複數個奈米雙晶金之奈米雙晶金膜，可於低溫低壓下達到良好的接合情況。 The present invention is related to a preferred oriented nano-twins Au film, a method of preparing the same, and a connecting structure comprising the same. The nano-twins Au film comprises a thickness direction, and the nano-twins Au film stacked along the [220] crystal axis in the thickness direction, and at least 50% in volume of the Au film is composed of a plurality of nano-twins Au. The nano-twins Au are adjacent to each other, and are arranged in the direction vertical to the thickness direction, and stacked along the [111] crystal axis. This invention can produce ighly oriented (220) Au films, and we can bond the Au films directly at very low temperatures.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智慧財產權中心

連絡電話

03-5738251

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