場效電晶體式氫氣感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094122057

專利證號

I269034

專利獲證名稱

場效電晶體式氫氣感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2006/12/21

技術說明

本發明的主要目的是在提供一種高靈敏度之金屬-氧化層-砷化鋁鎵場效電晶體式氫氣感 測器結構，利用鈀或鉑觸媒金屬薄膜分解氫分子導致閘極電位之變化，藉由二維電子雲 濃度變化以得到明顯之電性變化，進而可檢測低濃度的氫氣含量及得到快速響應之氫氣 偵測。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址