電校式輻射計

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100127588

專利證號

I 439679

專利獲證名稱

電校式輻射計

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2014/06/01

技術說明

提供一種可以量測絕對輻射能量的方法，利用兩層可加熱可感測的材料作為主要的元件，先利用額外的能量輸入造成加熱層的溫度升高，進而利用熱傳導的方式將感測層的溫度也提高，這樣完成一次加熱的過程，之後利用絕對溫度源的輸出作為感測器的輻射輸入源，利用輻射直接加熱感測層的溫度，使之上升，這樣完成一次感測的過程，接著可以計算比較出加熱與感測兩次輸出訊號的大小比例，這個計算結果將可以視為絕對輻射量測的結果。 A manufacture method of electrical substitution radiometer for absolute radiant measurement is presented in this paper. Characteristics of a radiometer is fabricated by using MEMS technology including lithography and etching, it can be reduced scale of chip size down to micrometer level. The radiometer is calibrated with electrical energy and adopted for absolute power and temperature drift, the sensor is called electric calibrated micro bolometer (ECµB). Platinum is utilized to be a heater and a sensor at different layer, other electric isolation layers were used to separate signal from those two platinum layers. Accuracy of radiometer was identified that is proportional to ratio of electric substitution power and radiant flux was measured.

備註

本部(收文號1100065219)同意該校110年10月27日陽明交大研產學字第1100036963號函申請終止維護專利(陽明交大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智慧財產權中心

連絡電話

03-5738251

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