改良的離子輔助濺鍍製裎

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

089122592

專利證號

I 223672

專利獲證名稱

改良的離子輔助濺鍍製裎

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2004/11/11

技術說明

改良的離子輔助濺鍍製裎

備註

1.科技部計畫：儀器科技發展計畫（2000年公務預算） 2.發明人:江政忠 ;李正中 ;戴國良 ;劉旻忠 ;吳美芳 ;何英哲 本部(收文號1050070266)同意該院105年8月23日國研業字第1050102309號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址