一種雙層平台減震裝置及其減震的方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098141535

專利證號

I 467099

專利獲證名稱

一種雙層平台減震裝置及其減震的方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2015/01/01

技術說明

本發明揭露一種雙層平台減震裝置及其減震的方法，係將擾動響應分解 (disturbance response decoupling) 應用於減震平台之控制。其主要在於透過擾動響應分解技術將來自桌面的儀器擾動與地面的震動干擾加以分開且各別抑制。本發明可以有助於提高減震的性能，且可以分別進行被動式減震機構及主動式控制器之設計安裝。 光學減震平台需要抑制兩種外界擾動 (disturbances)：桌面儀器震動擾動與地面震動擾動。一般光學桌的設計，主要是採取“軟”的懸吊設計，以抑制地面的震動。而有一些較高階的減震系統搭配有高度調整 (auto leveling) 機制，以抑制穩態的桌面作用力；然而對於動態的桌面震動，缺乏調整機制。另有一些減震系統採取主動式設計，然而由於這兩種外界擾動對系統性能的影響是耦合的 (coupling)，所以無法針對個別的性能要求進行控制器設計，並進而影響其減震性能。 本發明利用擾動響應分解技巧，建立一個廣義減震模型架構，使用雙層減震結構，設計一個將擾動源分離的控制迴路，分別處理兩種外界擾動：亦即使用被動元件抑制地面擾動，而使用主動式控制來抑制桌面儀器擾動。此設計的優點，在於可以提高減震設計的自由度。在本發明中，主動式致動器可由音圈馬達 (Voice Coil Motor) 或壓電致動器 (Piezoelectric actuator) 實現。 This invention relates to an optical table and a disturbance responses decoupling (DRD) method. Conventionally, using passive optical tables usually can control the transmission of ground disturbances to the table, but it cannot effectively control load disturbances. And though the active optical tables can control the ground and load disturbances at the same time, the design of controllers will be very complicated due to the coupling effects. Using the proposed double-layer optical table with the DRD method, we can simultaneously eliminate the ground disturbances. The control design for ground and load disturbances can be considered separately.

備註

本會(收文號1110071255)同意該校111年11月17日校研發字第1110090084號函申請終止維護專利(國立臺灣大學)

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