動態光罩模組(分割案一)

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/160,921

專利證號

US 7,320,946 B2

專利獲證名稱

動態光罩模組(分割案一)

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣科技大學

獲證日期

2008/01/22

技術說明

動態光罩模組之產生方法與設備

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉中心

連絡電話

02-2733-3141#7346

網址