熱遮罩及長晶設備

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093133599

專利證號

I 263713

專利獲證名稱

熱遮罩及長晶設備

專利所屬機關 (申請機關)

國立中央大學

獲證日期

2006/10/11

技術說明

本熱遮罩設計概念為結合不同型式熱遮罩之優點，進而設計一複合式角度熱遮罩型式，第一段 角度設計重點為針對如何加速冷卻晶棒溫度，且能有效壓縮微缺陷成核溫度區間的寬帶，而第 二段角度的設計重點在於要如何增加軸向固液介面溫度梯度，能藉此增加晶體的拉速以及SiO 之取走速率，以增加晶體之產能並減低污染。

備註

本部(收文號1050047992)同意該校105年7月7日中大研字第1051430192號函申請終止維護專利97件(中央)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智權技轉組

連絡電話

03-4227151轉27076

網址