氣體對流熱傳導量測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

107136996

專利證號

I 676012

專利獲證名稱

氣體對流熱傳導量測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立彰化師範大學

獲證日期

2019/11/01

技術說明

本發明提供一種氣體對流熱傳導量測系統,其包含:一微機電感測模組、一狀態切換模組及一中央處理模組,微機電感測模組具有一熱電元件; 中央處理模組輸出一操控訊號至狀態切換模組,狀態切換模組根據操控訊號控制熱電元件為一加熱狀態或一偵測狀態,於加熱狀態時,對熱電元件進行加熱;於偵 測狀態時, 熱電元件進行氣體熱傳導之偵測,以產生一溫度變化訊號,中央處理模組接收溫度變化訊號;藉此,無須額外設置加熱器,即可透過狀態切換模組控制熱電元件進行加熱或偵測狀態,藉以降低設置加熱器之成本,確保偵測之精準度、縮小晶片面積及提高製造良率。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展處

連絡電話

04-7232105轉1858

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