Mehrachsige Aktorvorrichtung

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

德國

專利申請案號

201210104749

專利證號

102012104749 B4

專利獲證名稱

Mehrachsige Aktorvorrichtung

專利所屬機關 (申請機關)

中央研究院

獲證日期

2015/02/12

技術說明

此技術是從事奈米科技研究與發展奈米相關產業之利器。由於奈米材料及奈米元件有非常獨特性質，可被開發與利用的價值很大，但因其尺寸極小，使觀測它們成為艱鉅的挑戰，此技術正能解決此問題。 一種自動對準與抗飄移機制用於量測儀器中訊號緩慢飄移之補償。材料受熱膨脹或機械應力釋放是造成緩慢訊號飄移的主要因素，這樣的緩慢飄移可透過自動對準與抗飄移機制補償。量測探頭可藉由此機制維持其最偵測靈敏度，用於偵測樣品表面的機械動態震動，例如微懸臂樑或任何使用微機電製程所製作的微結構。

備註

本部(收文號1100019638)同意該校110年4月1日智財字第11000502604號函申請終止維護專利(中研院)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉處

連絡電話

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