表面處理裝置及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102116282

專利證號

I 489517

專利獲證名稱

表面處理裝置及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2015/06/21

技術說明

長度超過10公分或內徑小於0.5公分之管材，有效與具經濟效率之製程進行內壁之處理與塗佈十分有限。 當使用液相塗佈製程，會因液體之表面張力與管材內部之阻力，使處理與塗佈較為困難，而對於塗佈層之厚度亦難控制。在氣相處理製程中，較成熟之方式為電漿處理或塗佈。然而在電漿製程中，在細長之管材中產生電漿目前仍相當困難，再者，電漿之均勻性與處理製程之穩定度亦有許多問題需克服。 本技術係使用細長之電極作為電漿產生之電極，並將電極置入管中，產生介電質放電型態之電漿，由於介電質電漿能產生大區域均勻放電之特性，因此能於管內產生均勻之電漿。以此電漿產生方式，在電漿氣體中添加適量之先驅物，於管內壁進行處理或塗佈之技術。 This technique utilizes long thin twisted electrodes as the driving electrode to generate plasmas in long thin tubes. It allows for the inner surface treatment or coatings for various types of tubes.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

網址