精密拋光裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098129670

專利證號

I 395637

專利獲證名稱

精密拋光裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2013/05/11

技術說明

本發明是利用CNC工具機本身的機體，加裝一個液動壓拋光副系統，應用形狀誤差補償策略，將工件上(因工具機的系統誤差所殘留)的形狀誤差精準的移除，因而提高工具機的加工精度。該加工方法及裝置的目標在於突破所謂的「工具機母性原則」，令工具機的加工精度可以優於其定位精度。而液動壓拋光法可用低廉的拋光機加工出高精度(優於0.1um)、高光滑度(優於10nm)、低表面破壞層之工件，其主要包括：一拋光刀具系統、一磨漿循環系統、一刀具運動規劃軟體、以及一負載控制系統，其中，刀具系統的任務除了令刀具穩定旋轉外，在於能提供足夠的運動自由度，以因應曲面加工的需求及提高刀具的使用壽命；而負載控制系統的目的，在於令刀具與工件之間的負載，能在拋光過程中保持固定，以精準的控制拋光加工率。負載控制系統將透過一個撓性的挾持系統與壓電致動器的搭配來實現，除了提供刀具與工件之間穩定的負載外，還具有將拋光刀具系統依附在(attach)CNC工具機上的功能。 The proposed design is a precision polishing device, which is especially designed to adapt to a CNC machine. The device contains a frame joined to the CNC machine, a polishing unit mounted on the frame, and a linking unit connecting the frame and the polishing unit. The polishing unit could move and polish along the predetermined path on the work surface. The linking unit includes a base mounted on the machine, a buffer fixed to the base, a linking bracket connected the buffer and the frame, and a controllable actuator set acting between the base and the buffer. Under a proper control, the device will provide a stable loading control and a consistent removal rate to facilitate the process of precision polishing.

備註

本部(收文號1050019735)同意該校105年3月21日中產營字第1051400266號函申請終止維護專利

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