滾輪式壓印系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

日本

專利申請案號

特願 2012-175130

專利證號

特許 5629737

專利獲證名稱

滾輪式壓印系統

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2014/10/10

技術說明

一種滾輪式壓印系統，適用於轉印一圖案至一半導體基板，其包括滾輪模組、傳動模組、固定模組、固化模組、及控制模組。 一滾輪模組包含一滾輪；傳動模組包含可移動之一承載平台，且承載平台上安置有該半導體基板。軟性模仁位於半導體基板與滾輪之間，其包含一圖案層面對半導體基板，該圖案位於該圖案層上。控制模組連接滾輪模組與傳動模組，用以控制滾輪呈現一第一方向移動並且使承載平台呈現一第二方向移動至一壓印位置；其中控制模組控制滾輪對軟性模仁施加壓力，以將圖案層轉印至半導體基板上。 A roller-based imprinting system comprises a roller module, a transmission module, a fixed module, a solidification module, and a controlling module. The roller-based imprinting systemto transfers a pattern that islocated on the surface of the a soft mold to the substrate successfully by usingthrough the pressing force of the roller.

備註

本部(收文號1080003177)同意該校108年1月10日原產字第1080000118號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作暨專利技轉中心

連絡電話

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