微型加工機的誤差量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099115146

專利證號

I 387507

專利獲證名稱

微型加工機的誤差量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/03/01

技術說明

本發明“微型機具之幾何誤差量測系統”，係利用雷射光繞射原理開發，利用三維光路分析與光柵繞射三維方程式將可建立五自由度量測系統，可使工具機進行微細加工時，能給加工進給系統量測水平與垂直方向的直線度誤差與俯仰度、搖偏度與滾動度誤差。其中結構係以「四自由度光柵量測系統」為基礎，使用一顆雷射二極體做為光源，利用光柵做為分光元件，兩組四象限檢測器進行誤差量測，利用繞射光原理即可讓該系統量測出X與Y直線度誤差、俯仰度誤差與搖偏度誤差。當在四自由度量測系統中改用兩個顆雷射二極體當光源，以及利用三顆四象限檢測做為感測原件時，即可形成一個五自由度光柵量測系統，而此部分將可多量測出滾動度的誤差。

備註

本部(收文號1050001826)同意該校105年1月6日虎科大智財字第10534000010號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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