發明
中華民國
096144230
I 352688
以添加鋁之鐵矽催化劑製造準直性奈米碳管
國立成功大學
2011/11/21
本文中,將探討鋁基層對於奈米碳管成長性質的影響, 將Fe-Si薄膜沉積於矽基板上做為催化 劑,並以電漿對催化劑etching。
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