近場光學顯微裝置Near-field scanning optical microscope

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/015,701

專利證號

US 8,393,010 B2

專利獲證名稱

近場光學顯微裝置Near-field scanning optical microscope

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2013/03/05

技術說明

本發明提出一個應用於近場光學顯微裝置中，針對待測樣品的散射近場光，加以增強其收光的方法，用以提昇對待測樣品的近場訊息的解析能力。一個近場掃描式光學顯微裝置的組成，包括探針、橢球面鏡、顯微物鏡、光電倍增管等等。探針在接觸樣品掃描時，探針位在此橢球面鏡的第一焦點上，入射光照射在橢球面鏡的第一焦點上，近場散射光經橢球面鏡反射後聚焦在橢球面鏡的第二焦點上，將顯微物鏡聚焦在此第二焦點上，將近場光以遠場收光方式接收後，最終可以得到待測樣品的近場光學特性。 先前的量測技術，近場光學顯微鏡在反射式模式收光時，由於近場光是以散射方式向四周散開，以顯微物鏡作遠場收光時，只有極小一部分散射光為顯微物鏡所接收，再傳送至光電倍增管，因此訊號十分微弱，不容易解析。本發明在探針附近，加入一高反射之橢球面鏡，並以機構設計將此橢球面鏡與近場光學顯微鏡本體相結合。本發明之優點為利用橢球面鏡之聚光特性，相對地增大收光立體角，使得收光訊號有所增強，訊噪比顯著提昇。 The present invention discloses a near-field scanning optical microscope. The microscope includes a lighting component, a probe and an ellipsoidal mirror. The lighting component emits a light. The probe is disposed on one side of a testing sample, and the light. is focused around a probe tip to draw the near-field light out. The ellipsoidal mirror has a first focal point and a second focal point, and the first focal point and the probe tip are disposed at the corresponding positions respectively, and the near-field light drawn out from the probe tip is scattered from the first focal point inside the ellipsoidal minor, and reflected and passed through the second focal point.

備註

本部(收文號：第1080062138號)同意該院108年9月16日國研授儀服院字第1080901656號函通報專利終止維護。

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